由中國科學院長春光學精密機械與物理研究所和中科院物理研究所共同承擔的知識創新工程項目“980nm大功率垂直腔表面發射激光器”，日前在長春通過了由周炳琨院士等組成的專家組鑒定。

據該項目組負責人、長春光機所研究員王立軍介紹，垂直腔表面發射激光器作為半導體激光技術中的新型器件，相對傳統的邊發射半導體激光器具有光束質量好、易于制作大規膜集成列陣等優點。在通訊、加工、醫療、顯示等領域具有廣泛的應用前景，目前，國際垂直腔表面發射半導體激光器方面的研究主要集中在面向光通訊應用的850nm波段小功率器件上，并已經商品化，而980nm高功率激光的報道還很少。

面對高功率垂直腔表面發射激光器的未來發展趨勢和國民經濟建設的實際需求，長春光機所與中科院物理所聯合開展了“980nm高功率垂直腔表面發射激光器研究”的科技攻關。他們在總結以往工作經驗的基礎上，攻克了一系列關鍵工藝技術，建立了高功率垂直腔表面發射激光器結構優化設計理論模型，采用能帶理論計算了量子阱光增益、最佳摻雜濃度；用有限元法首次研究了底發射結構電極間距的最佳距離等；在國際上首次采用高導熱AJ203薄膜鈍化技術減少非輻射復合降低器件閾值電流；首次采用氧化鉿多層膜組合技術制備高透過率出光窗口等。促使研究工作取得了突破性進展，在國際上首次研制出500μm、600μm、700μm大直徑高功率垂直腔表面發射激光器件，連續波光功率輸出均為1.95瓦。研制出200μm直徑VCSEL器件，10ns條件下峰值光功率10.5瓦，光功率密度33.4千瓦/平方米；300μm直徑VCSEL器件連續波光功率輸出1.11瓦，光功率密度1.57千瓦/平方米；上述指標均高于國際報道的同類器件。