國(guó)內(nèi)首創(chuàng)基于微棱鏡陣列的哈特曼波前傳感器，2004年4月中旬由中科院光電所研制成功。該項(xiàng)技術(shù)以二元光學(xué)制作的鋸齒形相位光柵陣列(微棱鏡陣列)代替以往的微透鏡陣列，建立了一種新型哈特曼波前傳感器。該項(xiàng)技術(shù)已申請(qǐng)?jiān)诠鈱W(xué)檢測(cè)、人眼像差測(cè)量和脈沖光光束質(zhì)量診斷等應(yīng)用場(chǎng)合的國(guó)家發(fā)明，是我國(guó)在光束診斷和光學(xué)檢驗(yàn)技術(shù)領(lǐng)域的又一項(xiàng)創(chuàng)新突破。

該項(xiàng)研究為中科院光電所領(lǐng)域前沿部署課題項(xiàng)目，目標(biāo)在于開(kāi)展波前探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新研究，與原有微透鏡哈特曼傳感器技術(shù)比較，本技術(shù)創(chuàng)新性地采用鋸齒形相位光柵陣列，建立了基于該微棱鏡陣列的新型哈特曼波前傳感器，完全實(shí)現(xiàn)了波前測(cè)量功能，從而使光電所在哈特曼波前傳感器創(chuàng)新研制領(lǐng)域擁有了自己的技術(shù)，將有助于打破國(guó)外限制，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

目前該技術(shù)已開(kāi)始向產(chǎn)品化試制階段過(guò)渡，近期目標(biāo)為研制適用于車(chē)間環(huán)境下的光學(xué)鏡面檢測(cè)儀器，相對(duì)于對(duì)環(huán)境敏感的干涉儀和要求經(jīng)驗(yàn)、無(wú)法定量的樣板法檢驗(yàn)，將為工廠光學(xué)檢測(cè)提供一種對(duì)環(huán)境要求低、使用方便、性?xún)r(jià)比更為合理的測(cè)量產(chǎn)品。

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